Method of and structure for controlling electrode temperature

WO0234451 Art A1 2. Mai 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0234451
Aktenzeichen: EP01981310
Anmeldetag: 24. Oktober 2001
Veröffentlichung: 2. Mai 2002
Rechtsraum: WO
IPC: B23K10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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