Verfahren zur Prozesskontrolle von Elektronenstrahl-Herstellungstechnologie

WO0237085 Art A1 10. Mai 2002

Anmelder: HRL LABORATORIES, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0237085
Aktenzeichen: EP01977544
Anmeldetag: 4. Oktober 2001
Veröffentlichung: 10. Mai 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/17G01N25/72G01N29/24H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HRL LABORATORIES, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 HRL Laboratories

HRL Laboratories ist ein US-amerikanisches Forschungslabor, das gemeinsam von Boeing und General Motors betrieben wird und in verschiedenen Technologiefeldern forscht. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Software und Datenverarbeitung, ergänzt durch Nachrichtentechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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