Method for aligning a semiconductor wafer

WO0241082 Art A1 23. Mai 2002

Anmelder: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0241082
Aktenzeichen: EP01996770
Anmeldetag: 15. November 2001
Veröffentlichung: 23. Mai 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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