Verfahren und Projektionssystem mit Maske für Laserkristallisationsprozesse von Halbleiterfilmzonen auf einem Substrat

WO0242847 Art A1 30. Mai 2002

Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0242847
Aktenzeichen: EP01985497
Anmeldetag: 27. November 2001
Veröffentlichung: 30. Mai 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B23K26/067B23K26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Trustees of Columbia University in the City of New York
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Columbia University

Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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