Tantalum oxide film, use thereof, and method and composition for forming the same

WO0243131 Art A1 30. Mai 2002

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0243131
Aktenzeichen: EP01997844
Anmeldetag: 7. November 2001
Veröffentlichung: 30. Mai 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C01G35/00C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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