Method for manufacturing semiconductor wafer

WO0243153 Art A1 30. Mai 2002

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0243153
Aktenzeichen
EP01997849
Anmeldetag
22. November 2001
Veröffentlichung
30. Mai 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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