Non-thermionic sputter material transport device, methods of use, and materials produced thereby
WO0243466
Art A2
6. Juni 2002
Anmelder: NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0243466
- Aktenzeichen
- EP01985499
- Anmeldetag
- 29. November 2001
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2002
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
North Carolina State University
US-amerikanische öffentliche Universität in Raleigh mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.
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