Electrode cooler of processing device

WO0244634 Art A1 6. Juni 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0244634
Aktenzeichen: EP01998783
Anmeldetag: 29. November 2001
Veröffentlichung: 6. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: F25D17/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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