Reinigungslösung für Halbleiterscheiben im Beol-Bereich

WO0245148 Art A2 6. Juni 2002

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0245148
Aktenzeichen: EP01983596
Anmeldetag: 21. November 2001
Veröffentlichung: 6. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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