Transfer robot and inspection method for thin substrate

WO0245154 Art A1 6. Juni 2002

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0245154
Aktenzeichen: EP01998996
Anmeldetag: 26. November 2001
Veröffentlichung: 6. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B65G49/06B65G49/07B25J13/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

1.544 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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