Design supporting system and design supporting method

WO0246974 Art A1 13. Juni 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Sipec Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0246974
Aktenzeichen: EP01999249
Anmeldetag: 5. Dezember 2001
Veröffentlichung: 13. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/50

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Sipec Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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