Robot for carrying substrate

WO0249099 Art A1 20. Juni 2002

Anmelder: Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0249099
Aktenzeichen
EP01965680
Anmeldetag
17. September 2001
Veröffentlichung
20. Juni 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68B65G49/06B65G49/07
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

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