Rapid thermal processing lamp and method for manufacturing the same

WO0249395 Art A2 20. Juni 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0249395
Aktenzeichen: EP01987140
Anmeldetag: 12. Dezember 2001
Veröffentlichung: 20. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: H05B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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