Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren von Isolationsschichten nach der Sti-Technik bei Erhöhten Temperaturen

WO0250204 Art A1 27. Juni 2002

Anmelder: Bayer Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0250204
Aktenzeichen: EP01988017
Anmeldetag: 7. Dezember 2001
Veröffentlichung: 27. Juni 2002
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Bayer Aktiengesellschaft
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Bayer

Deutscher Konzern mit Sitz in Leverkusen, tätig in den Bereichen Pharmazeutika, Consumer Health und Agrarwissenschaften mit Entwicklung von Arzneimitteln, Saatgut und Pflanzenschutzmitteln.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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