Cleaning and etching methods and their apparatuses

WO0250884 Art A1 27. Juni 2002

Anmelder: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0250884
Aktenzeichen
EP01271120
Anmeldetag
17. Dezember 2001
Veröffentlichung
27. Juni 2002
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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