Silicon single crystal substrate, epitaxial wafer, and method for manufacturing them

WO03000962 Art A1 3. Januar 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03000962
Aktenzeichen
EP02738764
Anmeldetag
19. Juni 2002
Veröffentlichung
3. Januar 2003
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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