Elektrodenteil für einen Plasmabearbeitungsapparat, Plasmabearbeitungsapparat und Verfahren zur Plamabearbeitung

WO03001557 Art A1 3. Januar 2003

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., Krosaki Harima Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03001557
Aktenzeichen: EP02743701
Anmeldetag: 24. Juni 2002
Veröffentlichung: 3. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Krosaki Harima Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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