Nanolithography methods and products therefor and produced thereby

WO03001633 Art A2 3. Januar 2003

Anmelder: Northwestern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03001633
Aktenzeichen: EP02773140
Anmeldetag: 28. Januar 2002
Veröffentlichung: 3. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01S1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Northwestern University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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