Directed gas injection apparatus for semiconductor processing

WO03002860 Art A2 9. Januar 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03002860
Aktenzeichen: EP02780950
Anmeldetag: 20. Juni 2002
Veröffentlichung: 9. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: F02C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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