Thiophene-containing photo acid generators for photolithography

WO03003120 Art A1 9. Januar 2003

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03003120
Aktenzeichen: EP02732051
Anmeldetag: 6. Juni 2002
Veröffentlichung: 9. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03C5/00C07C381/00C07C315/00C07C331/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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