Tuning control parameters for vibration reduction and motion control

WO03003132 Art A1 9. Januar 2003

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03003132
Aktenzeichen: EP02747899
Anmeldetag: 12. Juni 2002
Veröffentlichung: 9. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G05B13/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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