Verfahren und Gerät zum Zugang eines Mehrkammerverarbeitungssystems für Halbleiterscheiben
WO03003416
Art A2
9. Januar 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03003416
- Aktenzeichen
- EP02746671
- Anmeldetag
- 25. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.