Method of producing semiconductor thin film and method of producing solar cell

WO03003434 Art A1 9. Januar 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03003434
Aktenzeichen
EP02733425
Anmeldetag
10. Juni 2002
Veröffentlichung
9. Januar 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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