Plasma pump with inter-stage plasma source

WO03005406 Art A1 16. Januar 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03005406
Aktenzeichen: EP02782489
Anmeldetag: 2. Juli 2002
Veröffentlichung: 16. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/02H01J37/32H01J41/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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