Anordnung zum Handhaben Und/oder Aufbewahren einer Maske Und/oder eines Substrates

WO03005418 Art A2 16. Januar 2003

Anmelder: AIXTRON AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03005418
Aktenzeichen: EP02762275
Anmeldetag: 18. Mai 2002
Veröffentlichung: 16. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIXTRON AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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