Method for producing microscopic components

WO03007026 Art A1 23. Januar 2003

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03007026
Aktenzeichen
EP02784872
Anmeldetag
12. Juli 2002
Veröffentlichung
23. Januar 2003
Rechtsraum
WO
IPC
G02B3/00H01L21/308B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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