Optical system and exposure apparatus having the optical system

WO03007046 Art A1 23. Januar 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03007046
Aktenzeichen: EP02743890
Anmeldetag: 9. Juli 2002
Veröffentlichung: 23. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/24G02B13/14G02B17/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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