Method of improving gate activation by employing atomic oxygen oxidation

WO03007359 Art A1 23. Januar 2003

Anmelder: International Business Machines Corporation, Compagnie IBM France 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03007359
Aktenzeichen: EP02774492
Anmeldetag: 11. Juli 2002
Veröffentlichung: 23. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/321H01L21/28H01L29/49

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
Compagnie IBM France
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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