Metal Oxide Films

WO03008079 Art A2 30. Januar 2003

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03008079
Aktenzeichen: EP02750131
Anmeldetag: 17. Juli 2002
Veröffentlichung: 30. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B01F3/12B01J21/00B32B17/06H01L31/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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