Herstellung von Titannitridschichten mittels eines Zyklischen Abscheidungsprozesses

WO03008663 Art A1 30. Januar 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., Chung, Hua 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03008663
Aktenzeichen: EP02752353
Anmeldetag: 16. Juli 2002
Veröffentlichung: 30. Januar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/34H01L21/768H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Chung, Hua
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von