Verfahren und Vorrichtung zur Versieglung einer Substratoberfläche Während eines Elektrochemischen Abscheidungsvorgangs

WO03010368 Art A1 6. Februar 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03010368
Aktenzeichen
EP02752351
Anmeldetag
16. Juli 2002
Veröffentlichung
6. Februar 2003
Rechtsraum
WO
IPC
C25D17/06C25D17/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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