Method and apparatus for supplying tetrafluoroethylene gas to dry etching apparatus

WO03010808 Art A1 6. Februar 2003

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03010808
Aktenzeichen: EP02755632
Anmeldetag: 24. Juli 2002
Veröffentlichung: 6. Februar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065B01D53/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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