Wafer Carrier Wear Indicator
WO03011517
Art A1
13. Februar 2003
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03011517
- Aktenzeichen
- EP02791553
- Anmeldetag
- 1. August 2002
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B1/00B24B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.