Organic polymer film, method for producing the same and semiconductor device using the same

WO03011951 Art A1 13. Februar 2003

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03011951
Aktenzeichen: EP02746132
Anmeldetag: 22. Juli 2002
Veröffentlichung: 13. Februar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C08J5/18C08G61/02H01L21/768H01L21/312// (C08L101/0065:04)

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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