Dünne Dielektrische Filme mit Niedrigem K und Verfahren zu Ihrer Herstellung durch Chemische Aufdampfung
WO03015129
Art A2
20. Februar 2003
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03015129
- Aktenzeichen
- EP02756996
- Anmeldetag
- 6. August 2002
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Technology Materials
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Fachgebiete
Kanzlei
Kanzlei Huber & Schüssler
München, Deutschland
1996 von Dr. Bernard Huber und Dr. Andrea Schüssler gegründete Patentanwaltskanzlei mit Sitz in München, berät umfassend zu Patenten, Marken, Designschutz und Urheberrecht.
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