Vorrichtung zum Handhaben eines Verbundes

WO03017332 Art A1 27. Februar 2003

Anmelder: AIXTRON AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03017332
Aktenzeichen: EP02794731
Anmeldetag: 13. Mai 2002
Veröffentlichung: 27. Februar 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00C23C14/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: AIXTRON AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Aixtron

Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.

303 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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