Ionenstrahlätzung mit Verbesserter Selektivität für Magnetische Dünnfilme unter Gebrauch von Kohlenstoff Enthaltenden Gasen
WO03019590
Art A1
6. März 2003
Anmelder: Seagate Technology LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03019590
- Aktenzeichen
- EP02757075
- Anmeldetag
- 12. August 2002
- Veröffentlichung
- 6. März 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01F41/18H01F41/30G11B5/31
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Seagate Technology LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Seagate Technology
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