Ionenstrahlätzung mit Verbesserter Selektivität für Magnetische Dünnfilme unter Gebrauch von Kohlenstoff Enthaltenden Gasen

WO03019590 Art A1 6. März 2003

Anmelder: Seagate Technology LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03019590
Aktenzeichen
EP02757075
Anmeldetag
12. August 2002
Veröffentlichung
6. März 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01F41/18H01F41/30G11B5/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Seagate Technology LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Seagate Technology

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