Method for measuring dimensions of sample and scanning electron microscope

WO03021186 Art A1 13. März 2003

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03021186
Aktenzeichen: EP02713210
Anmeldetag: 27. März 2002
Veröffentlichung: 13. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G01N23/225H01J37/147H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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