Facility Monitor

WO03021569 Art A1 13. März 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03021569
Aktenzeichen: EP02797737
Anmeldetag: 27. August 2002
Veröffentlichung: 13. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G09G5/00G06F15/16G06F13/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Software & Datenverarbeitung

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