Verfahren und Vorrichtung zum Ätzen von Metallschichten

WO03021659 Art A1 13. März 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03021659
Aktenzeichen: EP02768775
Anmeldetag: 3. September 2002
Veröffentlichung: 13. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213G03F1/08C23F4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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