Method of treating photoresists using electrodeless uv lamps

WO03024171 Art A2 20. März 2003

Anmelder: PPG Industries Ohio, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03024171
Aktenzeichen: EP02798178
Anmeldetag: 10. September 2002
Veröffentlichung: 20. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01J65/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: PPG Industries Ohio, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 PPG Industries

US-amerikanischer Hersteller von Farben, Lacken und Spezialchemikalien mit Sitz in Pittsburgh, Pennsylvania, einer der weltweit größten Beschichtungshersteller.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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