Method for producing high purity low dielectric constant ceramic and hybrid ceramic films field of the invention

WO03024894 Art A1 27. März 2003

Anmelder: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03024894
Aktenzeichen: EP01979244
Anmeldetag: 14. September 2001
Veröffentlichung: 27. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C04B38/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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