Multiple-Nozzle Thermal Evaporation Source

WO03025245 Art A1 27. März 2003

Anmelder: UNIVERSITY OF DELAWARE, Eser, Erten, Hanket, Gregory M. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03025245
Aktenzeichen: EP02759557
Anmeldetag: 4. September 2002
Veröffentlichung: 27. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: UNIVERSITY OF DELAWARE
Eser, Erten
Hanket, Gregory M.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Delaware

Die University of Delaware ist eine staatliche Universität in den USA mit breitem naturwissenschaftlichem Forschungsprofil. Das Patentportfolio verteilt sich über Medizintechnik, Halbleitertechnik, organische Chemie und Pharma/Biotechnologie. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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