In-Situ oder Ex-Situ Profilüberwachung von Phasenöffnungen an Alternierenden Phasenschiebermasken mittels Verteilungsmetrik

WO03026000 Art A1 27. März 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03026000
Aktenzeichen: EP02736549
Anmeldetag: 5. April 2002
Veröffentlichung: 27. März 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/47G01B11/30G03F7/20G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

2.407 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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