In-Situ-Schichtdickenmessung unter Verwendung von Spektralinterferenz mit Streifender Inzidenz

WO03027609 Art A1 3. April 2003

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03027609
Aktenzeichen: EP02773578
Anmeldetag: 24. September 2002
Veröffentlichung: 3. April 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06H01L21/66G01N21/95G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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