System for cushioning wafer in wafer carrier
WO03029113
Art A2
10. April 2003
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03029113
- Aktenzeichen
- EP02768963
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 10. April 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B65G1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
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