Electromagnetic field supply device and plasma processing device

WO03030236 Art A1 10. April 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Yasaka, Yasuyoshi, Ando, Makoto 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03030236
Aktenzeichen: EP02763003
Anmeldetag: 4. September 2002
Veröffentlichung: 10. April 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H05H1/46H01P3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Yasaka, Yasuyoshi
Ando, Makoto
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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