Ätzverfahren und Vorrichtung
WO03030240
Art A2
10. April 2003
Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03030240
- Aktenzeichen
- EP02765613
- Anmeldetag
- 24. September 2002
- Veröffentlichung
- 10. April 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EBARA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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