Matching device and plasma processing apparatus

WO03030294 Art A1 10. April 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Nihon Koshuha Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03030294
Aktenzeichen: EP02768121
Anmeldetag: 27. September 2002
Veröffentlichung: 10. April 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01P5/04H05H1/46H01L21/302H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Nihon Koshuha Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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