Planarizing Recess Etch

WO03032092 Art A1 17. April 2003

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03032092
Aktenzeichen
EP02800922
Anmeldetag
4. Oktober 2002
Veröffentlichung
17. April 2003
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/38H01H59/00H01P1/12B81B3/00H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

2.541 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

Kein Vertreter erfasst.

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen