Planarizing Recess Etch
WO03032092
Art A1
17. April 2003
Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03032092
- Aktenzeichen
- EP02800922
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 17. April 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/38H01H59/00H01P1/12B81B3/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Regents of the University of Michigan
Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.
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